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關(guān)于板級(晶圓級)/系統(tǒng)的ESD方案

更新時間:2022-05-05      瀏覽次數(shù):2127

概述

ESD(Electro-Static discharge)的意思是“靜電釋放"。ESD是20世紀(jì)中期以來形成的以研究靜電的產(chǎn)生、危害及靜電防護等的學(xué)科。因此,國際上習(xí)慣將用于靜電防護的器材統(tǒng)稱為ESD,中文名稱為靜電阻抗器。

ESD(靜電放電)對電子產(chǎn)品造成的破壞和損傷有突發(fā)性損傷和潛在性損傷兩種。所謂突發(fā)性損傷,指的是器件被嚴(yán)重損壞,功能喪失。這種損傷通常能夠在生產(chǎn)過程中的質(zhì)量檢測中能夠發(fā)現(xiàn),因此給工廠帶來的主要是返工維修的成本。而潛在性損傷指的是器件部分被損,功能尚未喪失,且在生產(chǎn)過程的檢測中不能發(fā)現(xiàn),但在使用當(dāng)中會使產(chǎn)品變得不穩(wěn)定,時好時壞,因而對產(chǎn)品質(zhì)量構(gòu)成更大的危害。這兩種損傷中,潛在性失效占據(jù)了90%,突發(fā)性失效只占10%。也就是說90%的靜電損傷是沒辦法檢測到,只有到了用戶手里使用時才會發(fā)現(xiàn)。手機出現(xiàn)的經(jīng)常死機、自動關(guān)機、話音質(zhì)量差、雜音大、信號時好時差、按鍵出錯等問題有絕大多數(shù)與靜電損傷相關(guān)。也因為這一點,靜電放電被認(rèn)為是電子產(chǎn)品質(zhì)量的潛在殺手,靜電防護也成為電子產(chǎn)品質(zhì)量控制的一項重要內(nèi)容

 

ESD的分類

1. 在大型制造產(chǎn)線、加工車間、流水作業(yè)產(chǎn)線等場景,都會存在環(huán)境類ESD現(xiàn)象,這類ESD屬于工程類的, 需要對場地、產(chǎn)線、人員、機械進行防靜電處理,主要措施是接地釋放靜電,控制環(huán)境類的溫濕度, 會使用到防靜電工作臺、防靜電離子風(fēng)扇、防靜電包裝袋等等,  這類工程類的靜電處理在國內(nèi)已經(jīng)非常成熟了;主要用于生產(chǎn)車間

2. 在質(zhì)量檢測研究院、第三方實驗室中會使用到ESD Gun 進行靜電抗擾度測試;這是所有帶電工作的產(chǎn)品必須要做的一項測試, 這項測試如果測試失敗,產(chǎn)品不能上市銷售;成品的ESD抗擾度測試是指人員操作ESD Gun對產(chǎn)品進行打靜電處理,采用的方式有接觸式和隔空式,給產(chǎn)品打4KV 、8KV、16K、20KV等甚至再高些的電壓; 看成品是否出現(xiàn)死機,損失等一些現(xiàn)象,來評估成品是否符合CE 和FCC 關(guān)于靜電抗擾度的標(biāo)準(zhǔn), 符合就可以出報告,以便于產(chǎn)品上市發(fā)布,不符合那么產(chǎn)品需要整改. 這里會使用一個產(chǎn)品就是 ESD Gun ;  從2015年開始 隨著國內(nèi)各個大企業(yè)(如華為 VIVO  OPPO  京東方 天馬微電子等)對ESD 抗擾度更加嚴(yán)格,傳統(tǒng)使用ESD Gun的測試已經(jīng)不能滿足產(chǎn)品品質(zhì)的需要, 已開始采用機械自動測試方式替代ESD Gun人員操作了,會使到 SmartZap 和SmartScan-ESD 系統(tǒng):

 

SmartZap *替代ESD Gun 的工作, 用機械手臂替代人員操作,能對被測試物進行拍照建立模型、定位、去靜電處理的等等, 測試數(shù)據(jù)更加精確,能規(guī)避人員操作的誤差;

SmartZap 自動化靜電抗擾度測試系統(tǒng) (圖)


SmartScan-ESD-350/550 System ---- 智能化ESD掃描測試系統(tǒng): 這個ESD測試系統(tǒng)是SmartZap 的升級系統(tǒng), SmartScan-ESD 系統(tǒng)*擁有SmartZap的功能, 優(yōu)點就是能對放電區(qū)域進行分析,利用probe探測放電區(qū)域的電流分布,電場 與磁場的值 ;該系統(tǒng)主要被用于產(chǎn)品的研發(fā)與測試分析

這一類ESD 可以理解為板級的ESD 


3. 2017年開始國家加大半導(dǎo)體,芯片等相關(guān)公司的投資, 在武漢,廈門 合肥 南京 杭州  成都等城市建立一大批Fab廠,同時也支持一大批IC 設(shè)計公司發(fā)展, 在這一波的發(fā)展中,晶圓級的ESD發(fā)展得到促進, 很多廠會購買TLP系統(tǒng) ---- 傳輸線脈沖測試系統(tǒng),用于半導(dǎo)體器件和晶圓的IV曲線特性測試、SOA測試、漏電測試;  很多產(chǎn)品上會用到比如:TVS 管、 ESD保護器件、觸摸屏、指紋識別、晶圓等等;

TLP----傳輸線脈沖測試系統(tǒng)

ES620 TLP System.png


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